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Orzew FC20/FC20X全自动晶圆关键尺寸检测及分选机
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EVG850 DB自动解键合系统
CI8化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置
6EZ-SIC抛光机
EVG7300多功能紫外纳米压印光刻系统
QuickPRO-CUBE非接触式双表面轮廓仪
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FR-Scanner自动化高速薄膜厚度测量仪
EVG540-晶圆键合自动化系统
FR-pRoThetametrisis膜厚测量仪
LAS-P-VIS™ 定心仪(偏心仪)
AVI-400Herz AVI系列主动式防震台
TS-150高精度主动减振平台
KOSAKA - ET4000台阶仪