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KOSAKA - ET200A台阶仪
                
PLS-F1002晶圆几何形貌及参数红外干涉自动检测机
                
FSM 128薄膜应力及基底翘曲测试设备
                
EVG805-薄晶圆解键合系统
                
EVG805解键合晶圆键合机
                
PhaseCam 4030动态激光干涉仪
                
PhaseCam 6010Twyman-Green高性能动态干涉仪
                
FSM413红外激光测厚仪
                
Delcom 非接触式电阻测试
                
Microsense 5810/6810电容式位移传感器
                
Nano X-2000S白光干涉仪
                
RTEC 白光干涉仪+共聚焦一体机
                
PLS-F1000/F1002晶圆几何形貌及参数自动检测机
                
FR-Mic全自动带显微镜多点测量
                
FSM 500TC高温薄膜应力及基底翘曲测试设备
                
FS-1FilmSense多波段椭偏仪
                
DVIA-TDaeil 台式主动防振台
                
FR-Mic全自动带显微镜多点测量膜厚仪