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GEMINI FB XTEVG晶圆键合自动生产系统
                
Orzew FC20/FC20X全自动晶圆关键尺寸检测及分选机
                
7AF-HMG SiC研磨机
                
EVG850 DB自动解键合系统
                
CI8化合物半导体SiC、GaN晶圆检查装置
                
6EZ-SIC抛光机
                
EVG7300多功能紫外纳米压印光刻系统
                
QuickPRO-CUBE非接触式三维形貌仪
                
EVG610纳米压印光刻系统
                
EVG6200 NT掩模对准光刻系统
                
HERCULESDymek岱美仪器量产型光刻机系统
                
FR-Scanner自动化高速薄膜厚度测量仪
                
EVG540-晶圆键合自动化系统
                
FR-pRoThetametrisis膜厚测量仪
                
LAS-P-VIS™ 定心仪(偏心仪)
                
AVI-400Herz AVI系列主动式防震台
                
TS-150高精度主动减振平台
                
KOSAKA - ET4000台阶仪