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Dymek岱美仪器EVG620 NT掩模对准光刻机系统
                
LODAS™ – LI系列FPD Photomask缺陷检查装置
                
LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷检查装置
                
LODAS™ – BI8Photomask Blanks缺陷检查装置
                
LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷检查装置
                
FR-Ultra 晶圆厚度测量系统
                
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150自动化高速薄膜厚度测量仪
                
WM 300光学粗糙度测试仪
                
PLS-F1000晶圆几何形貌测量及参数自动检测机
                
P03Q-6LS Plasma微波等离子清洗机
                
Nanotronics nSpec Macro微流控缺陷检测
                
Delcom 20J3 STAGE薄膜电阻测量仪
                
Nanotronics nSpec LS晶圆缺陷检测光学系统
                
Herz电镜隔振台
                
Filmetrics F3-sX硅片厚度测量
                
StrainScope Flex可调式实时应力仪
                
实时型StrainScope S3/S4 应力仪
                
拼接型StrainMatic stepper应力仪